CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器操作步驟
CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器的操作步驟需要遵循一定的流程，以確保設(shè)備的安全運行和氫氣的穩(wěn)定輸出。
以下是CVD，MOCVD專用氫氣發(fā)生器具體的操作步驟：
一、設(shè)備檢查與準備
1.檢查設(shè)備：在操作前，首先要檢查氫氣發(fā)生器的外觀是否完好，確保所有部件沒有損壞或泄漏的跡象。同時，核對裝箱單上的品名數(shù)量是否齊全，并檢查電源連接是否正常。
2.環(huán)境準備：選擇一個具有良好通風性、遠離熱源、無震動、陽光直射、粉塵和腐蝕性氣體的場所放置氫氣發(fā)生器。環(huán)境溫度應控制在0℃-40℃，環(huán)境相對濕度應不超過85%。
3.水箱準備：檢查水箱中的水位是否充足，如果水位不足，需要補充蒸餾水或純凈水至液位刻度。同時，確保儀器“O2”口暢通，并取下加液口的蓋子以便注液。
二、開機與自檢
1.連接電源：將儀器輸出密封帽旋緊，接通電源線，打開電源。
2.自檢：觀察儀器流量顯示，當顯示為300ml/min時，表示儀器正在自檢。如果顯示數(shù)字大于0，請用皂液檢查輸出口，看螺帽是否旋緊。
三、設(shè)置參數(shù)與啟動
1.設(shè)置參數(shù)：根據(jù)半導體制造的具體需求，設(shè)置氫氣的流量、壓力等參數(shù)。這通常需要在操作面板上進行調(diào)整，并參考制造商提供的操作手冊。
2.啟動發(fā)生器：按照制造商提供的操作手冊，執(zhí)行正確的操作步驟啟動氫氣發(fā)生器。在啟動過程中，密切關(guān)注設(shè)備的運行狀態(tài)，并及時處理任何異常情況。
四、氫氣質(zhì)量監(jiān)測與調(diào)整
1.質(zhì)量監(jiān)測：使用適當?shù)膫鞲衅骱蛢x器監(jiān)測氫氣的純度和濕度，確保生成的氫氣符合所需的規(guī)格和標準。
2.調(diào)整參數(shù)：如果發(fā)現(xiàn)氫氣的純度或濕度不符合要求，及時調(diào)整設(shè)備的參數(shù)，如電解液濃度、電流等，以提高氫氣的質(zhì)量。
五、關(guān)機與維護
1.正常關(guān)機：按照制造商提供的操作手冊，執(zhí)行正確的關(guān)機步驟。先關(guān)閉氫氣輸出，再斷開電源。
2.維護保養(yǎng)：定期進行維護保養(yǎng)，包括清潔設(shè)備表面、更換電解液、檢查過濾器等。確保設(shè)備的正常運行和延長使用壽命。
